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    Transparent Quartz Products(石英加工品)

    気泡がほとんどない透明石英管ガラスを使用して、各用途に合わせた石英加工品の製作を行っています。

    特長

    • 全品受注生産品です。
    • 透明石英は天然水晶を用い、酸水素溶解にて製造したインゴットで、気泡がほとんどなく、高純度、耐熱性、耐酸性、絶縁性に優れています。
    • 半導體プロセスでの酸化拡散工程で使用される熱処理用爐心管やウェハーボードをはじめクォーツバスや各種石英加工品に使用されています。

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    用途

    • 縦型?橫型半導體ウェハーボード
    • ウェハーカセット
    • クォーツバス
    • ヒーターサポート
    • 各種加工品

    參考特性

    石英加工品の性能

    光透過率(10mm透過距離)

    製作可能サイズ
    長方形円形
    厚さ長さ外徑內徑長さ
    500mm 170mm - 350mm - 2200mm

    化學分析表:(含有率)
    成分微量分子成分微量分子
    Al 17 Ca 0.8
    Cr < 0.01 Cu 0.01
    Fe 0.2 K 0.5
    Li 0.7 Mg 0.05
    Mn 0.02 Na 0.7
    Nd < 0.01 Ti 1.1
    Y < 0.01 Zr 0.01
    OH- 170  

    特性
    物理特性熱特性
    比重 2.2g/cm3 歪點 1090℃
    曲げ強度 69kgPa アニール溫度 1190℃
    せん斷強度 69kgPa 変異點 1730℃
    圧縮強度 > 1100kgPa    
    ヤング率 73GPa    
    剛性率 31GPa    

    石英加工品例

    寫真をクリックすると大きな畫像が表示されます。

    半導體酸化?拡散プロセス用ウェーハボードウェーハカセットウェーハチャック

    橫型ボード

    12inch縦型ボード

    8inch縦型ボード
    石英カバークランプリングクォーツバスヒーターサポート石英品加工例

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