ExLASER Lite®(エックス?レーザー ライト)
レーザー平面加熱裝置「エックス?レーザー」にコンパクト設(shè)計?小面積加熱を?qū)g現(xiàn)した「ライト」が新登場！
特長
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レーザー加熱実験
ExLASER-lite（ELL-CT-050-FC13）で真空チャンバー中に設(shè)置した試料をレーザー加熱。試料の裏面（レーザー照射面と反対側(cè)）から溫度分布を測定した。
実験データ
0.5インチ徑×0.3t シリコン基板を真空中10-3Paで加熱。
溫度分布
昇降溫データ
標準仕様
| 型番：ELL-CT-050-FC13 | |||
|---|---|---|---|
| レーザ照射方式 | ファイバータイプ | 本體サイズ | H 1420mm ×W 655mm ×D 660mm |
| レーザ出力 | 最大50W （CW） | 裝備品 | 放射溫度計 真空チャンバー裝備（內(nèi)徑 φ 107mm） TMP裝備（10-6Pa臺） 基板ホルダー（φ 12.7mm用） |
| レーザ波長 | 808nm | ||
| レーザ形狀 | 円形 | ||
| 光學(xué)系（均一度） | ±10%以內(nèi)（ノーマル光學(xué)系） ※ホモジナイザ光學(xué)系はオプション |
定格 | AC100V 10A |
| 加熱面積 | φ 13mm | 備考 | ワイドラック収納一體型 ガス導(dǎo)入可能 |
| ワークディスタンス | 150mm | ||
オプション ※ご要望に応じて製作させていただきます
カタログ
こちらからExLASER Lite®のカタログ（PDF）をご覧いただけます。
