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    ExLASER®(エックス?レーザー)

    ExLASER® は多機(jī)能型レーザー平面瞬間加熱裝置です。

    特長(zhǎng)

    • 超高速な昇溫降溫が可能
    • 2インチ基板を1ショットで均一加熱
    • 被加熱対象物のみへの直接加熱が可能
    • プロセスに合った溫度制御が可能
    • 雰囲気を加熱せず省エネを?qū)g現(xiàn)

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    用途例

    • MBE裝置の基板加熱
    • ウェハーのアニール(SiC、GaAS、etc.)
    • 多層構(gòu)造デバイスの表層アニールが可能(微細(xì)化デバイス対応)

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    実績(jī)例

    獨(dú)立行政法人 日本原子力研究開発機(jī)構(gòu) 様
    レーザ出力:100W
    本體サイズ:H251×W200×D253(mm)

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    レーザー加熱実験

    EXL-CT-010DS55を用い、真空チャンバー中に設(shè)置した試料をレーザー加熱。試料の裏面(レーザー照射面と反対側(cè))から溫度分布を測(cè)定した。

    1. サファイア基板 (φ2インチ) --- 透明基板への適用

    溫度分布

    サファイア基板の溫度分布
    (レーザ出力 : 1000W)

    急速昇溫降溫

    サファイア基板の急速昇降溫(平均基板溫度)
    (レーザ出力 : 1000W)

    2. 溫度傾斜 --- コンビナトリアル用光學(xué)系の使用

    溫度分布

    金屬板の溫度分布
    (レーザ出力 : 86W 集光)

    溫度傾斜グラフ

    金屬板の溫度傾斜

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    標(biāo)準(zhǔn)仕様

    型番:EXL-CT-010-DS55
    レーザ照射方式 ダイレクトタイプ 本體サイズ H 625mm ×W 700mm ×D 320mm
    レーザ出力 最大 1kW 付屬品 専用チラー
    レーザ波長(zhǎng) 808nm 定格 本體:1P200V20A
    チラー:1P200V15A
    レーザ形狀 正方形
    光學(xué)系(均一度) ホモジナイザ (±5%) 備考 JST獨(dú)創(chuàng)モデル化
    開発製品(H17年度)
    加熱面積 □ 55mm
    ワークディスタンス 400mm~

    ※上記は標(biāo)準(zhǔn)仕様です。お客様のご要望により変更が可能です。

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    オプション ※ご要望に応じて製作させていただきます

    • 真空チャンバー
    • 溫度制御ユニット
      ?放射溫度計(jì)
      ?デジタル指示調(diào)節(jié)計(jì)
      ?赤外線透過窓
    • 基板ホルダー (2インチ基板用)
    • コンビナトリアル用光學(xué)系、専用基板ホルダー(□10mm基板対応)
    • 各種基板 (サファイア、シリコン、GaAs、 etc.)

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    カタログ

    こちらからExLASER®のカタログ(PDF)をご覧いただけます。

    カタログ(PDF)日本語
    カタログ(PDF)English

      

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