卓上型 ExLASER®(エックス?レーザー)
世界最先端のヒーティングシステム「レーザー平面瞬間加熱裝置ExLASER®(エックス?レーザー)に、卓上型タイプが誕生。 コンパクト設(shè)計により、研究?試験等、様々なシーンで利用できます。
特長
(※) ワット密度：34W/? (ε=0.9)
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基本性能一例
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| 1/2インチ徑ウェハー加熱時 （500W 10秒後850℃以上 20秒で100℃以下） |
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| ステージ上にワーク設(shè)置 | レーザー加熱イメージ |
製品仕様一例
| 定格 | AC100V 15A以內(nèi) |
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| レーザ出力 | 最大50W |
| 加熱雰囲気 | 大気 |
| 加熱面積 | φ 13mm |
| ワークステージ | φ 60mm(MAX) |
| 本體サイズ | H580mm×W320mm×D470mm |
| 裝備品 | 放射溫度計、USBカメラ、パソコン |
※透明基板は直接加熱できません
