ExLASER® は多機能型レーザー平面瞬間加熱裝置です。
レーザー平面瞬間加熱裝置
當社のレーザー平面瞬間加熱裝置をご紹介します。
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<シリコン微細構(gòu)造の原子レベルでの平滑化と丸め制御により、様々な分野?用途におけるMEMSデバイスの高性能?高信頼性を?qū)g現(xiàn)!>
東北大學 金森義明教授発明のAtomic-Antialiasing Annealing(AAA)技術(shù)を用いた水素雰囲気アニールによる立體構(gòu)造の平滑化と丸め制御新技術(shù)を、H30~R2年度サポイン事業(yè)により東北大?産総研?ミニマルファブ推進機構(gòu)との共同開発で製品化しました。
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